无油涡旋真空泵的工作原理是通过两条渐开线螺旋曲线盘构成，即一个静涡旋盘和一个动涡旋盘。动涡旋盘作偏心安装，静涡旋盘与动涡旋盘便形成月芽形腔体。随着动涡旋盘转动，月芽形腔体不断向里旋转压缩，Z后从中间排出至出气口。动涡旋盘连续运转，气体不断从进气口吸入、压缩，由出气口排出，形成真空

目前无油涡旋真空泵的应用领域为:
①半导体行业——薄膜制备设备、半导体器件封装设备
②科学仪器行业——同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器
③机械设备行业——材料制备设备、真空检测、材料提纯设备
④化学工业
⑤医*设备——牙科仪器、透析机、生物制品与药品制备
⑥包装行业——食品、药品、生物制品等包装设备